漏液検知センサ(位置 検出) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

薬液漏れを非接触で検知する漏液検知アルゴリズム

半導体製造装置の薬液漏れを早期発見。 設備停止リスク低減と安定稼働を支援します。

半導体製造工程における薬液漏れは、生産停止や設備復旧につながるリスクの一つです。 被害を最小限に抑えるためには漏液の早期発見が重要であり、設備保全・予防保全に向けた継続的な監視が求められています。 ■このような課題はありませんか？ ・半導体製造装置の薬液漏れを早期発見したい ・薬液漏れによる設備停止を防ぎたい ・配管や継手からの微小な漏れを把握したい ・漏液監視を自動化したい その課題、Liquidseekerが解決します！ ■Liquidseekerの特長 ・非接触で漏液監視 ・水・薬液・油を識別して検知 ・微小な漏液も検知 ・最大3m離れた位置から検知 Liquidseekerは、SWIR（短波長赤外）技術を活用した漏液検知アルゴリズムです。 本製品を、対応するSWIR ToFカメラへ組み込むことで、半導体製造装置で使用される薬液や水、油などの漏液を非接触で検知できます。 わずかな漏液も検出できるため、薬液漏れによる装置停止や品質不良のリスク低減に貢献します。